schichtdickenanalyze mit micro - rfa am REM
Da Röntgenstrahlen proenmaterie besser durchdringen kann, ist die Mikro- Röntgenfluoreszenz eine ideale ortaufgelöste analytische Technik zur Bestimmung von schichsystemen。麻省理工学院 dermicro - xrf auf REMlassen sich somit Schichtsysteme (Dicke和Zusammensetzung) mit räumlicher Auflösung im Mikrometer Bereich schnell和einfach analysieren。典型的Anwendungen信德金属贝希希通根沃夫，多元素贝希希通根和太阳。原子基本参数(FP)。关于量子化的问题lässt关于标准的问题。Durch den standardfreien Ansatz eignet sich die Schichtdickenanalyse am REM insbesondere für neuartige Schichtsysteme in der Forschung & Entwicklung。
神甫1:太阳工程。In den meisten Fällen wid der absortaaus CIGS-Strukturen hergestellt, die aus Cu-In-Ga-Se oder Cu-In-Ga-S Verbindungen bestehen。太阳太阳公司在德国冶金协会的荣誉，在德国金属协会的荣誉。Im Vergleich zur herkömmlichen Schichtdickenanalyse am REM, der Schichten Im Querschnitt best estimmt werden, können diese mit dem XTrace direkt auf der Oberfläche ohne aufwändige proenvorbereitung schnell und einfach best estimmt werden。
Abb 2: microx - xrf太阳能光谱，相关元素的变化。Auch die hochenergetischen Linienserien der schwerte (z.B. Mo-K und In-K) können mit Hilfe der microrfa leicht angeregert werden。模具größere Informationstiefe der Röntgenanregung ermöglicht einen tieferen Blick in das Material und somit Die Charakterisierung relativedicker Schichten bzw。mehrschichtiger系统ab 1纳米和双祖40 μ m gesamtschichdicke。Darüber hinaus kann auch die Zusammensetzung der CIGS-Struktur bestimmt werden。标准损耗基本参数(FP)基于Ansatz分析。标准können in der Software verwendet werden, um die Präzision der Ergebnisse zu erhöhen。
