钝化层
什么是钝化层?
半导体上的钝化层起着重要的作用，如保护、电子隔离或抗反射层。bob电竞安全吗布鲁克FT-IR研究光谱仪是快速、灵敏和无损分析这类钝化层的理想工具。
利用FT-IR进行钝化层分析
各种样品/晶圆夹可用于透过率、反射率或ATR测量模式，以研究不同厚度的钝化层。
例如，硼磷磷硅酸盐玻璃(PSG)和硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)可以在中红外区通过透过率测量进行表征和定量，使用适当的校准。
用于研究系列FT-IR光谱仪的专用晶圆映射附件可以自动采集不同样品位置的反射率和透射率光谱。
它可以同时进行BPSG层的厚度评价和定量分析，在QC部门得到了广泛的认可。由于Bruker的创新晶圆ATR附件，即使是SiN等离子体层、超低k层或单晶硅上的自组装单分子层等超薄层也可以以最高灵敏度进行分析。bob电竞安全吗想知道更多吗?
